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四フッ化炭素分析ヘリウムイオンクロマトグラフィー
ヘリウムイオンクロマトグラフィーは電子工業用ガス中の微量不純物の検出に適しており、小検出濃度は5 ppbに達することができる。計器は高感度のヘリウムイオン化検出器を備え、華愛会社の中心切断技術を採用し、注入弁はすべてパージ保護ガス路を備えている、本体は多柱箱設計を採用し、注入圧力自動補正システムを搭
製品の詳細
- 製品の説明
四フッ化炭素分析ヘリウムイオンクロマトグラフィー高感度のヘリウムイオン化検出器を備え、華愛会社の中心切断技術を採用し、注入弁はすべてパージ保護ガス路を備えている、全機は多柱箱設計を採用し、注入圧力自動補正システムを装備し、異なる底ガスのサンプルの注入量を保証する。製品は前後して上海市ハイテク成果転化A級プロジェクトを獲得した。
| プロジェクト | インデックス | ||
| 四フッ化炭素（CF4）純度（体積率）/10-2≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| 窒素（N2）含有量（体積率）/10-6＜ | 4 | 20 | 40 |
| 酸素＋アルゴン（O2＋Ar）含有量（体積率）/10-6＜ | 1 | 5 | 10 |
| 二酸化炭素（CO2）含有量（体積率）/10-6＜ | 1 | 5 | 10 |
| 一酸化炭素（CO）含有量（体積率）/10-6＜ | 0.1 | 0.5 | 1 |
| 六フッ化硫黄（SF6）含有量（体積率）/10-6＜ | 1 | 1 | 5 |
| 水分（H2O）含有量（体積率）/含有量、10-6＜ | 3 | 5 | 10 |
| 酸性度（HFベース）含有量（体積率）/10-6＜ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| その他のハロゲン化炭素化合物a含有量（体積率）/10-6＜ | 1 | 10 | 30 |
| 総不純物含有量（体積率）/l 0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
| りゅうし | 需給双方の合意 | 需給双方の合意 | 需給双方の合意 |
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他のハロゲン化炭素化合物としては、ヘキサフルオロエタン、オクタフルオロプロパンなどが挙げられる。
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